진공 코팅 공정이 어떻게 실현되는지 이해하십시오

2023-06-26

진공 코팅고품질의 박막 재료를 제조하는 데 사용되는 프로세스입니다. 진공 조건 하에서 기판 표면에 유기 또는 무기 물질을 열 증발 또는 스퍼터링하여 박막을 생성합니다. 이 기사는 진공 코팅의 구현을 자세히 소개합니다.

진공 코팅 공정에는 다음 단계가 포함됩니다.

1. 올바른 기판과 재료를 선택하십시오

오른쪽 기판과 재료를 선택하는 것이 진공 코팅의 첫 번째 단계입니다. 기판은 유리, 플라스틱, 금속 또는 기타 나노 물질 일 수 있습니다. 물질은 금속, 반도체, 산화물 또는 질화물과 같은 유기 또는 무기 일 수 있습니다.

2. 진공 코팅 시스템을로드하십시오

두 번째 단계는 기판과 재료를 진공 코팅 시스템에로드하는 것입니다. 진공 코팅 시스템에는 진공 챔버, 금속 증발기, 스퍼터 및 제어 시스템이 포함됩니다. 진공 챔버는 진공 환경을 유지하는 데 사용되는 폐쇄 공간이며, 금속 증발기 및 스퍼터는 기판에 재료를 증발하거나 스퍼터링하는 데 사용되는 장치이며, 제어 시스템은 진공 환경 및 재료 증발 또는 스퍼터링 속도를 모니터링하고 조정하는 데 사용됩니다.

3. 진공

재료 및 기질을 로딩 한 후, 진공 챔버를 대피해야합니다. 저압 및 고 순도 환경을 유지하면 막의 품질을 보장 ​​할 수 있기 때문에 진공 청소기는 매우 중요한 단계입니다. 진공 환경은 일반적으로 가스 분자 및 기타 오염 물질을 배제하기 위해 10^-6 mbar 미만입니다.

4. 재료 증발 또는 스퍼터링

진공 환경이 원하는 압력에 도달하면, 재료를 기판에 증발 시키거나 스퍼터링 할 수있다. 재료 증발의 두 가지 방법이 있습니다 : 열 증발 및 전자 빔 증발. 스퍼터링에는 Magnetron Sputtering과 Arc Sputtering의 두 가지 방법도 있습니다. 어떤 방법이 사용 되든 재료 증발 또는 스퍼터링 속도 및 필름 두께를 제어해야합니다.

5. 다층 필름을 만드십시오

일단 단일 층 막이 제조되면, 복합재를 형성하기 위해 여러 층을 함께 쌓을 수 있습니다. 교대 증착, 다기 재료 공동 결정 및 구역 증착과 같은 상이한 재료 및 증착 공정이 사용될 수있다.

6. 테스트 멤브레인 품질

마지막 단계는 막의 품질을 테스트하는 것입니다. 테스트에는 두께, 물리적 특성, 광학적 특성 및 전기 특성이 포함될 수 있습니다. 막 재료가 테스트 결과에 따라 요구 사항을 충족하는지 여부를 결정하십시오.

요컨대, 진공 코팅 기술은 고품질 박막을 달성하는 방법입니다. 적절한 기판 및 재료를 선택하고, 진공 코팅 시스템을로드하고, 진공 청소기, 재료 증발 또는 스퍼터링하고, 다층 필름을 만들고 필름 품질을 테스트해야합니다. 진공 코팅 기술은 전자 제품, 광학, 의료 및 에너지 분야에서 널리 사용되었습니다.
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