진공 코팅 장비의 압력 제어 원리

1. 배경 소개
진공 코팅 장비는 산업 생산에 널리 사용되는 일종의 장비입니다. 주요 기능은 진공 코팅 챔버에 코팅되어야하는 재료를 넣고, 고온 및 고 진공 환경 하의 반응을 통해 필름 층은 재료의 표면에 골고루 증착됩니다. 특수 기능과 특성을 갖는 특정 코팅 층을 형성한다. 그 중에서, 장비의 진공 정도 및 접착 속도는 코팅 층의 품질에 영향을 미치는 중요한 지표이며, 진공 정도의 안정성은 장비의 압력 제어에 달려 있습니다.
2. 진공 코팅 장비의 압력 제어 원리
1. 진공 학위의 정의
압력 제어 원리를 도입하기 전에 진공이 무엇인지 소개해야합니다. 물리학에서, 진공은 압력이 대기압보다 적은 가스 환경을 의미하므로 진공의 정도는 특정 공간의 가스 압력을 나타냅니다. 일반적으로 진공은 일반적으로 Pascals (PA) 또는 미터 막대 (MBAR)에서 측정됩니다. 진공 코팅 장비에서 일반적인 진공 범위는 10^-6PA ~ 10^-2PA입니다.
2. 압력 제어의 원리
진공이 너무 높거나 너무 낮 으면 장비의 정상 작동에 영향을 미칩니다. 따라서 특정 방법을 통해 장비의 진공 수준을 제어해야합니다. 그중에서도 압력 제어는 비교적 간단하고 효율적인 제어 방법입니다. 구체적으로, 압력 제어의 원리는 압력 제어기를 사용하여 제어 끝의 압력을 감지 한 다음 피드백 메커니즘을 통해 밸브의 개구부를 제어하여 압력을 제어 할 목적을 달성함으로써 장비의 가스 유량을 제어하는 ​​것입니다.
3. 압력 컨트롤러의 기본 구성
진공 코팅 장비에서 압력 제어기는 일반적으로 압력을 제어하는 ​​데 사용됩니다. 기본 구성에는 탐지 센서, 컨트롤러, 액추에이터 및 제어 시스템의 네 가지 부분이 포함됩니다.
감지 센서 : 주로 제어 끝의 압력 변화를 감지하고 컨트롤러가 사용하기 위해 해당 전기 신호 출력으로 변환하는 데 사용됩니다.
컨트롤러 : 주로 센서에 의해 전기 신호 출력을 수신하고, 처리하고 분석 한 다음, 분석 결과를 액추에이터로 다시 공급하여 액추에이터의 개방 정도를 제어합니다.
액추에이터 : 압력을 제어하기위한 목적을 달성하기 위해 밸브의 개구부도를 제어하여 주로 장비의 가스 유량을 제어합니다.
제어 시스템 : 주로 온도, 진공 학위 등과 같은 장비의 다양한 지표를 모니터링하고 제어하는 ​​데 사용되며 일련의 제어 전략을 수립합니다.
3. 요약
요약하면, 진공 코팅 장비의 압력 제어 원리는 비교적 간단하고 효율적인 피드백 메커니즘을 통해 장비의 압력을 제어하는 ​​것입니다. 이러한 안정적인 제어 시스템을 확립하려면 매개 변수 모니터링, 제어 알고리즘, 액추에이터 제어, 시스템 연결 등과 같은 장비 제어 시스템의 다양한 측면에 대한 기술 지원이 필요합니다. 이러한 기술적 요소는 장비가보다 우수한 성능을 보여줄 수 있도록 특정 전문 및 기술 인력의 협력이 필요합니다.